진공 정의/진공 범위

 

출처 파이퍼베큠 코리아

 

 

어떤 시스템의 진공이라고 해서 다 같은 진공 범위에 있다고 하지 않는다. 각각의 범위에 따라서 low vacuum에서 extremely high vacuum에 이르게 된다. 이를 아래에 정리하였으며 압력의 SI unit인 Pa로 그 단위를 나타내었다.

 

1. Low vacuum (LV)

→ 30,000~100 Pa

2. Medium vacuum (MV)

→ 100~10^-1 Pa

3. High vacuum (HV)

→ 10^-1~10^-5 Pa

4. Ultra-high vacuum (UHV)

→ 10^-5~10^-10 Pa

5. extremely high vacuum (XHV)

→ <10^-10 Pa

 

진공의 범위를 알아두어야 하는 이유는 진공의 범위에 따라서 사용 가능한 펌프의 종류가 달라지게 되고 tube fitting의 종류가 달라지게 될 뿐만 아니라 여러 가지 사용 가능한 장비의 종류가 달라지게 되기 때문이다. 또한, 연구실에서 진행 가능한 실험의 스케일이 달라지게 된다. 

 

대학교 실험실 스케일에서 가능한 진공범위는 시스템을 잘만 꾸민다면 HV까지는 가능하게 된다. 우리나라의 포항가속기와 같은 시설이라면 UHV이상도 가능할 것이다. 

 

 

참고 자료: Pfeiffer Vacuum Korea